ZYGO 作為深耕超精密制造技術(shù)領(lǐng)域數(shù)十年的企業(yè)，專(zhuān)注于表面測(cè)量、位置傳感、精密光學(xué)元件及組件制造，為各行業(yè)提供專(zhuān)業(yè)的光學(xué)計(jì)量解決方案。NewView™ 9000 3D 光學(xué)表面輪廓儀是 ZYGO 旗下核心計(jì)量產(chǎn)品，依托前沿的光學(xué)測(cè)量技術(shù)與智能化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了非接觸、無(wú)破壞性的高精度表面形貌測(cè)量，可適配實(shí)驗(yàn)室研發(fā)與工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程控制等多種應(yīng)用場(chǎng)景，為不同行業(yè)的精密測(cè)量需求提供可靠支撐。
核心測(cè)量技術(shù)
NewView™ 9000 以相干掃描干涉技術(shù)（CSI） 為核心測(cè)量原理，這一技術(shù)也是 ZYGO 多款 3D 光學(xué)輪廓儀的技術(shù)基石。該技術(shù)通過(guò)窄線(xiàn)寬濾波的 LED 光源產(chǎn)生干涉條紋，對(duì)樣品測(cè)試表面與理想?yún)⒖济娴钠钸M(jìn)行采樣分析，借助干涉顯微物鏡垂直于樣品表面掃描，可獲取整個(gè)視場(chǎng)區(qū)域的三維數(shù)據(jù)地圖，而非單一剖面線(xiàn)輪廓，實(shí)現(xiàn)了亞納米級(jí)的形貌縱向分辨率。
為保障測(cè)量的高保真度，ZYGO 對(duì)每一款配套物鏡進(jìn)行專(zhuān)屬優(yōu)化，讓干涉條紋包絡(luò)的峰值位置與物鏡光學(xué)成像焦點(diǎn)相契合，確保在全放大倍數(shù)下都能保持穩(wěn)定的測(cè)量精度。同時(shí)，設(shè)備融合 SureScan™抗振掃描技術(shù)，可在存在振動(dòng)的工業(yè)環(huán)境中完成精密計(jì)量，打破了傳統(tǒng)精密測(cè)量設(shè)備對(duì)嚴(yán)苛環(huán)境的限制。
產(chǎn)品性能與功能特點(diǎn)
高精度與高重復(fù)性測(cè)量
設(shè)備具備優(yōu)異的測(cè)量精度與重復(fù)性，表面形貌重復(fù)性可優(yōu)于 0.08nm，RMS 重復(fù)性達(dá) 0.008nm；光學(xué)橫向分辨率在 100× 物鏡下可達(dá) 0.34μm，空間采樣分辨率在 100× 物鏡 2×zoom 下為 0.04μm。臺(tái)階高度測(cè)量的重復(fù)性為 0.1%，精度為 0.03%，能精準(zhǔn)捕捉樣品表面納米級(jí)的形貌特征，測(cè)量結(jié)果符合 ISO 25178、ISO 4287/4288 等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
高效的測(cè)量與操作體驗(yàn)
設(shè)備支持高速掃描，不同測(cè)量陣列下最大掃描速度可達(dá) 171μm/sec，數(shù)秒內(nèi)即可捕獲百萬(wàn)級(jí)數(shù)據(jù)點(diǎn)，大幅提升測(cè)量效率。搭載的 Part Finder 自動(dòng)條紋對(duì)焦與 Smart Setup 智能設(shè)置功能，無(wú)需專(zhuān)業(yè)的專(zhuān)家級(jí)培訓(xùn)，1 分鐘內(nèi)即可自動(dòng)找到條紋并完成測(cè)試，降低了操作門(mén)檻。
同時(shí)，設(shè)備配備 0.5X-100X 多倍率物鏡，涵蓋標(biāo)準(zhǔn)、長(zhǎng)焦、超長(zhǎng)焦多種工作距離，搭配 0.5X、0.75X、1.5X、2.0X 可選的 zoom 切換，視場(chǎng)范圍可達(dá) 0.04-17.49mm，集成圖像拼接功能后還可實(shí)現(xiàn)更大范圍的測(cè)量，適配不同尺寸與精度要求的樣品檢測(cè)。
智能化的軟件與分析能力
設(shè)備搭載 ZYGO 專(zhuān)屬的 Mx™分析測(cè)量軟件，可實(shí)現(xiàn)完整的系統(tǒng)控制與數(shù)據(jù)分析，支持交互式三維形貌展示、定量數(shù)據(jù)輸出，配備直觀(guān)的導(dǎo)航欄與內(nèi)置過(guò)程控制（SPC）的統(tǒng)計(jì)、控制圖表，還可設(shè)置通過(guò) / 失敗限制，貼合工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量管控需求。
軟件擁有豐富的分析功能：區(qū)域分析工具可智能化分離并分析測(cè)量數(shù)據(jù)的不同區(qū)域，實(shí)現(xiàn)特征高度尺寸量化、溝槽寬度深度分析等；支持拼接測(cè)量與自動(dòng)化功能，可拼接高倍率高分辨率數(shù)據(jù)，自動(dòng)測(cè)試樣品不同區(qū)域，兼顧大視場(chǎng)范圍與高數(shù)據(jù)密度；內(nèi)置 Python 編程環(huán)境，可編寫(xiě)自動(dòng)化測(cè)試程序或自定義分析功能，還能創(chuàng)建自定義的軟件界面和控制板，適配不同的測(cè)量需求。此外，SmartPSI™技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高精度、高速、低噪聲測(cè)量，對(duì)超光滑表面的 Sq 結(jié)果測(cè)量可達(dá) 0.06nm。
廣泛的樣品適配性
設(shè)備可測(cè)量多種材料表面，包括透明、不透明、鍍膜、非鍍膜、反射、弱反射等類(lèi)型，樣品反射率適配范圍為 0.05%-100%；可耐受的樣品最大傾斜度為光滑樣品 55°（100× 物鏡）、散射面 86°，樣品最大尺寸可達(dá) 89×203×203mm（高 × 寬 × 長(zhǎng)），更大尺寸樣品可部分懸空放置測(cè)量，無(wú)需特殊的樣品制備流程，測(cè)量過(guò)程對(duì)樣品無(wú)破壞。
設(shè)備硬件配置
核心硬件參數(shù)
掃描裝置采用閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷，帶防撞保護(hù)，縱向掃描范圍涵蓋 150μm 精密壓電陶瓷掃描與 20mm 擴(kuò)展掃描；光源為專(zhuān)利固態(tài)白光光源，帶手動(dòng)限位、孔徑限位與光譜過(guò)濾功能；測(cè)量陣列可選 1600×1200、1000×1000、1000×600、1000×200 多種規(guī)格。
樣品臺(tái)分手動(dòng)與電控兩種類(lèi)型，手動(dòng)平臺(tái) XY 向平移范圍 100mm、傾斜 ±3°，電控平臺(tái) XY 向平移范圍 150mm、傾斜 ±3°，編碼 XYZ 軸可選配；精密聚焦支持電控手動(dòng)與聚焦輔助自動(dòng)聚焦，100μm 行程下分辨率達(dá) 0.1μm，軟件 Mx 中還集成樣件觀(guān)察窗，便于樣品定位與觀(guān)察。
整機(jī)規(guī)格與環(huán)境要求
設(shè)備主機(jī)尺寸為 75×64×56cm，含支撐且門(mén)關(guān)時(shí)最大高度為 151×73×61cm，抽屜閉合時(shí)為 83×73×61cm；主機(jī)重量約 91Kg，整套系統(tǒng)含支撐重量為 229Kg，可選配專(zhuān)用工作臺(tái)。
控制系統(tǒng)采用 i7 級(jí)別 PC，搭配 23 寸 1080p 顯示器，軟件運(yùn)行于 64 位 Microsoft Windows 10 系統(tǒng)。設(shè)備對(duì)環(huán)境的適應(yīng)性較強(qiáng)，工作溫度為 15-30℃，溫度變化率需小于 1.0℃/15 分鐘；相對(duì)濕度 5%-95% 且無(wú)凝結(jié)；內(nèi)置隔振系統(tǒng)，可隔離 1-120Hz 的震動(dòng)，震動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)需達(dá)到 VC-C 或更好，聲學(xué)標(biāo)準(zhǔn) NC30 或更好；供電為 100-240VAC、50/60Hz。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
NewView™ 9000 3D 光學(xué)表面輪廓儀憑借多維度的性能優(yōu)勢(shì)，可覆蓋多個(gè)行業(yè)的精密測(cè)量需求，成為工藝控制與研發(fā)創(chuàng)新的重要計(jì)量工具：
- 精密機(jī)械加工：可測(cè)量機(jī)械零件的表面粗糙度、面形、波紋度，精準(zhǔn)檢測(cè)臺(tái)階高度、溝槽尺寸等關(guān)鍵參數(shù)，幫助企業(yè)嚴(yán)格控制制造過(guò)程，解決工藝加工中的精度問(wèn)題，尤其可檢測(cè)傳動(dòng)齒輪接觸面的中頻波紋度等傳統(tǒng)計(jì)量方式難以捕捉的誤差，助力提升零部件加工質(zhì)量。
- 光學(xué)制造：適配光學(xué)元件的超精密測(cè)量需求，可檢測(cè)光學(xué)鏡片、透鏡等產(chǎn)品的表面形貌，借助多倍率物鏡測(cè)量不同空間頻率的表面特征，SmartPSI™技術(shù)可快速完成超光滑光學(xué)表面的粗糙度測(cè)量，助力管控精密光學(xué)制造工藝。
- 消費(fèi)電子：可測(cè)量手機(jī)攝像頭、面板、半導(dǎo)體器件等產(chǎn)品的臺(tái)階、深度、紋理與關(guān)鍵尺寸，在單臺(tái)設(shè)備上完成多參數(shù)測(cè)量，節(jié)省工藝時(shí)間；靈活的平臺(tái)與可移植的應(yīng)用程序，可實(shí)現(xiàn)從研發(fā)到量產(chǎn)的計(jì)量方案復(fù)用，適配消費(fèi)電子行業(yè)從簡(jiǎn)單到復(fù)雜、小批量到大批量的生產(chǎn)需求。
- 摩擦學(xué)與材料研發(fā)：在材料研究、表面精加工、潤(rùn)滑工程等領(lǐng)域，可對(duì)金屬、陶瓷、玻璃、PTFE 納米復(fù)合膜、類(lèi)金剛石薄膜等多種材料進(jìn)行納米級(jí)精度的表面特征測(cè)量，為磨損分析、新材料表面性能研究提供定量的 3D 形貌數(shù)據(jù)。
- 透明薄膜測(cè)量：可測(cè)量厚度大于 400nm 的薄膜，同時(shí)獲取薄膜厚度與表面形貌數(shù)據(jù)，適配光學(xué)薄膜、電子薄膜等產(chǎn)品的檢測(cè)需求。
- 先進(jìn)技術(shù)研發(fā)：為新材料、新表面、新工藝的科學(xué)探索提供高精度、高重復(fù)性的量化計(jì)量結(jié)果，助力研發(fā)人員分析樣品表面特征與性能的關(guān)聯(lián)，加速研發(fā)進(jìn)程。
此外，設(shè)備還可應(yīng)用于醫(yī)療領(lǐng)域的人工關(guān)節(jié)植入體等精密部件測(cè)量，以及增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)、虛擬現(xiàn)實(shí)顯示器件等創(chuàng)新產(chǎn)品的計(jì)量檢測(cè)，為各行業(yè)的技術(shù)升級(jí)與產(chǎn)品質(zhì)量提升提供計(jì)量支撐。
定制化與配套服務(wù)
ZYGO 擁有專(zhuān)業(yè)的工程師團(tuán)隊(duì)，可根據(jù)客戶(hù)的關(guān)鍵計(jì)量需求，為 NewView™ 9000 提供定制化解決方案，包括定制樣品夾具、定制保護(hù)罩、專(zhuān)屬隔振系統(tǒng)、定制軟件功能，以及系統(tǒng)集成與 OEM 服務(wù)等。同時(shí)，ZYGO 在全球多地布局服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，憑借數(shù)十年的超精密計(jì)量技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，為客戶(hù)提供技術(shù)支持與服務(wù)保障，確保設(shè)備始終保持穩(wěn)定的測(cè)量性能，貼合客戶(hù)在研發(fā)與生產(chǎn)中的長(zhǎng)期計(jì)量需求。
NewView™ 9000 3D 光學(xué)表面輪廓儀將非接觸測(cè)量技術(shù)、高精度性能與智能化設(shè)計(jì)深度融合，既滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)室的高端研發(fā)測(cè)量需求，也能適配工業(yè)生產(chǎn)的過(guò)程控制與在線(xiàn)檢測(cè)，是各行業(yè)實(shí)現(xiàn)精密計(jì)量、提升產(chǎn)品質(zhì)量與研發(fā)效率的重要選擇。
光學(xué)計(jì)量廣泛用于實(shí)驗(yàn)室測(cè)量和工業(yè)制造中過(guò)程控制?；诠鈱W(xué)計(jì)量方案測(cè)量表面形貌；具有非接 觸、無(wú)破壞性、高敏感性的特點(diǎn)，計(jì)量結(jié)果分辨率和精度出色——這都是現(xiàn)代工業(yè)制造和研發(fā) 應(yīng)用所必需的。
為什么選擇3D 光學(xué)輪廓儀?
現(xiàn)代科技產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，常常是由關(guān)鍵表面的關(guān) 鍵性能來(lái)推動(dòng)。3D 光學(xué)輪廓儀，用于測(cè)量關(guān) 鍵面的光潔度、粗糙度和形貌。ZYGO 3D光 學(xué)輪廓儀是您測(cè)量工具，因?yàn)槲覀兡芫?確、定量、非接觸測(cè)量，在數(shù)秒內(nèi)捕獲百萬(wàn) 數(shù)據(jù)點(diǎn)，表征樣品表面納米級(jí)形貌特征，計(jì) 量結(jié)果符合ISO 標(biāo)準(zhǔn)。
NewViewTM 9000 3D 光學(xué)表面輪廓儀，易于使用，擁 有多項(xiàng)優(yōu)良專(zhuān)業(yè)與創(chuàng)新技術(shù)，ZYGO 為您提供這一專(zhuān)業(yè)解決方案。
它們高度自動(dòng)化，用途廣泛，測(cè)試速度快，精度高；可選多種 配置，用于測(cè)量超光滑，粗糙或者大坡度表面。
在測(cè)量不同表面結(jié)構(gòu)和紋理時(shí)，客戶(hù)可以選擇獲得數(shù)百個(gè)參數(shù)結(jié) 果，包括符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度結(jié)果，以及符合
ISO 4287/4288的二維輪廓參數(shù)。
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀，不僅僅是比傳統(tǒng)的接觸式輪廓儀測(cè)量表 面時(shí)更快，測(cè)量的視野更大，數(shù)據(jù)點(diǎn)更多；我們?cè)诰群蜏?zhǔn)確度 上，比傳統(tǒng)的接觸式輪廓儀更上一層樓。
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